Hine Design Inc. 自動ウェハー搬送ユニットの分解
ツール
以前、このデバイスの修理に使われていた一般的な工具です。修理過程において全部の工具が必要とは限りません。
Hine DesignはAsyst Technologies Inc.に買収され、その後Crossing Automationに買収され、最終的にBrooks Automationに買収されました。